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1 總 則

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中華人民共和國國家標準電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范 GB50472-2008  條文說明1總則本規(guī)范是電子工業(yè)潔凈廠房設計的國家標準，適用于各種類型

2 術 語

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2術語2．0．1潔凈室cleanroom空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應減少室內誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等

3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求

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3電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求3．1一般規(guī)定3．1．1～3．1．3隨著科學技術的發(fā)展，電子產(chǎn)品生產(chǎn)日新月異，以微電子產(chǎn)品為代表的各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術

4 總體設計

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4總體設計4．1位置選擇和總平面布置4．1．1電子產(chǎn)品生產(chǎn)用潔凈廠房與其他工業(yè)潔凈廠房的重要區(qū)別之一是一些電子產(chǎn)品生產(chǎn)對化學污染物有嚴格的要

5 工藝設計

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5工藝設計5．1一般規(guī)定5．1．1隨著科學技術的發(fā)展，電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代、產(chǎn)品生產(chǎn)技術的發(fā)展十分迅速，以集成電路為代表的微電子產(chǎn)品尤為顯著，

6 潔凈建筑設計

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6潔凈建筑設計6．1一般規(guī)定6．1．1、6．1．2隨著科學技術的發(fā)展，電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展很快，即使某一種電子產(chǎn)品也常常需要更新?lián)Q代或生產(chǎn)工藝調整或

7 空氣凈化和空調通風設計

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7空氣凈化和空調通風設計7．1一般規(guī)定7．1．3潔凈廠房中凈化空調系統(tǒng)的劃分原則，本條推薦6種情況宜采用“分開設置”。研究分析凈化空調系統(tǒng)“分

8 給水排水設計

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8給水排水設計8．1一般規(guī)定8．1．1潔凈廠房內的管道敷設方式會對潔凈室的空氣潔凈度產(chǎn)生影響，成排布置的給水排水管道有時會對潔凈室的氣流流型

9 純水供應

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9純水供應9純水供應9．1一般規(guī)定9．1．1電子工業(yè)潔凈廠房設計中純水供應是重要內容之一。各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對純水水質、水量要求均不相同，在

10 氣體供應

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10氣體供應10．1一般規(guī)定10．1．1潔凈廠房使用的氣體有常用氣體、干燥壓縮空氣及特種氣體三大類，根據(jù)各種電子產(chǎn)品品種及其生產(chǎn)工藝的不同，使用