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10 氣體供應(yīng)

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各種常用氣體的氣瓶庫(kù)應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外。當(dāng)日用氣量不超過(guò)1瓶時(shí)，氣瓶可設(shè)置在潔凈室(區(qū))內(nèi)，但應(yīng)采取不積塵和易于清潔的措施。10．2．8 氣體管道和閥門(mén)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇，宜符合下列規(guī)定： 1 氣體純度大于或等于99.999999％時(shí)，應(yīng)采用內(nèi)壁電拋光的低碳不銹鋼管，閥門(mén)應(yīng)采用隔膜閥；

11 化學(xué)品供應(yīng)

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輸送有機(jī)溶劑的管道材質(zhì)，宜采用低碳不銹鋼管；輸送酸、堿類(lèi)管道材質(zhì)，宜采用聚四氟乙烯。用于管道系統(tǒng)的墊片，宜采用氟橡膠或聚四氟乙烯。

12 電氣設(shè)計(jì)

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電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設(shè)備，應(yīng)由專(zhuān)用變壓器或?qū)Ｓ玫蛪吼侂娋€路供電。對(duì)電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設(shè)備、動(dòng)力設(shè)備，宜設(shè)置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內(nèi)宜設(shè)置獨(dú)立的檢修電源。

13 防靜電與接地設(shè)計(jì)

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對(duì)電子產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道，應(yīng)采取防靜電接地措施，其中有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)的設(shè)備、管道應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

14 噪聲控制

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14．1．1 潔凈廠房的噪聲控制，應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，并應(yīng)保持工作人員具有舒適、安全的環(huán)境。14．1．2 潔凈廠房的噪聲控制設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)噪聲控制設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ 87的有關(guān)規(guī)定。14．1．3 潔凈室(區(qū))的噪聲控制設(shè)計(jì)的噪聲級(jí)(空態(tài))應(yīng)符合本規(guī)范第3．2．5條的規(guī)定。14．1．4 潔凈室(區(qū))

15 微振控制

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1 隔振臺(tái)(座)應(yīng)具有足夠的剛度；2 應(yīng)采用低剛度隔振設(shè)施；3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0．15；4 隔振臺(tái)(座)應(yīng)采取傾斜校正措施；5 隔振設(shè)施不應(yīng)影響氣流流型，6 當(dāng)采用空氣彈簧隔振器時(shí)，其供氣系統(tǒng)應(yīng)進(jìn)行凈化處理，并應(yīng)達(dá)到潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的要求。

附錄A 各類(lèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)空氣潔凈度等級(jí)的要求

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附錄A 各類(lèi)電子產(chǎn)品生產(chǎn)對(duì)空氣潔凈度等級(jí)的要求

附錄B 電子產(chǎn)品生產(chǎn)間／工序的火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)舉例

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① 表中房間在設(shè)備密閉性良好，并設(shè)有氣體或可燃蒸氣報(bào)警裝置和滅火裝置時(shí)，應(yīng)按丙類(lèi)設(shè)防，否則仍應(yīng)按甲類(lèi)設(shè)防。② 屏錐加工車(chē)間中低熔點(diǎn)玻璃配制和低熔點(diǎn)玻璃涂復(fù)間面積超過(guò)本層或防火分區(qū)總面積5％時(shí)，生產(chǎn)類(lèi)別應(yīng)為乙類(lèi)設(shè)防。③ 光纜外皮采用發(fā)泡塑料時(shí)，該生產(chǎn)線應(yīng)為丙類(lèi)。

附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值舉例

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附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值舉例

附錄D 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試和認(rèn)證

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1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場(chǎng)所的檢測(cè)，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動(dòng)值要求的微振測(cè)試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測(cè)試。2 微振檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計(jì)的要求設(shè)置，一般檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。3 微振控制的檢測(cè)應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行?，F(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)