ISO 14644-1:2015（E）潔凈室及其相關(guān)受控環(huán)境，第一部分——空氣潔凈度等級
ISO潔凈室分級標準
占用狀態(tài)：應在三種占用狀態(tài)（空態(tài)、靜態(tài)和動態(tài)）的一種或更多情況下，根據(jù)潔凈室或潔凈區(qū)空氣里粒子濃度來劃分空氣潔凈度等級。
粒子粒徑：當一個或超過一個的粒徑閾值（下限）處于從≥0,1μm到≥5μm的范圍，可用來判定根據(jù)粒子濃度得出的空氣潔凈度分級。
ISO等級序數(shù)：根據(jù)粒子濃度劃分空氣潔凈度的級別應以ISO等級序數(shù)N來表示。表格1規(guī)定了每種被考慮粒徑的最大允許粒子濃度。
在表格1里，不同閾值粒徑的粒子數(shù)量濃度不能反應空氣里的實際粒子粒徑和數(shù)量分布，也不可作為分級的唯一標準。
表格1 - 根據(jù)粒子濃度劃分空氣潔凈度的ISO等級
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ISO等級序數(shù) （N）
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大于等于表中被考慮粒徑的粒子最大允許濃度（個/立方米） a
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0.1μm
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0.2μm
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0.3μm
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0.5μm
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1μm
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5μm
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1
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10 b
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d
|
d
|
d
|
d
|
e
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2
|
100
|
24 b
|
10 b
|
d
|
d
|
e
|
|
3
|
1,000
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237
|
102
|
35 b
|
d
|
e
|
|
4
|
10,000
|
2,370
|
1,020
|
352
|
83 b
|
e
|
|
5
|
100,000
|
23,700
|
10,200
|
3,520
|
832
|
d,e,f
|
|
6
|
1,000,000
|
237,000
|
102,000
|
35,200
|
8,320
|
293
|
|
7
|
c
|
c
|
c
|
352,000
|
83,200
|
2,930
|
|
8
|
c
|
c
|
c
|
3,520,000
|
832,000
|
29,300
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9 g
|
c
|
c
|
c
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35,200,000
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8,320,000
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293,000
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a:此表中所有濃度是累積起來的，例如：ISO等級5，0.3μm之10,200個粒子包含所有大于等于此 粒徑的粒子。
b:這些濃度需要大的取樣體積?？梢詰庙樞虿蓸臃?；見附錄D。
c:極高粒子濃度的濃度限值并不適用于此表格范圍。
d:低濃度粒子的取樣和統(tǒng)計局限性與分級不適宜。
e:由于取樣系統(tǒng)存在潛在的粒子損失，對于低濃度和粒徑大于1μm的粒子來說，樣品收集局限性 與分級不適宜。
f:為了詳細說明與ISO等級5有關(guān)的粒徑，可以改編并使用與至少一個粒徑有關(guān)的大粒子描述符M。 (見C.7)
g:此等級僅適用于運行中狀態(tài)。
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