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潔凈室之間的壓差應(yīng)當(dāng)多少合適？無(wú)壓差可以嗎？
  GB 50073-2013(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范)對(duì)潔凈室的壓差控制有如下規(guī)定：潔凈室與周圍空間必須維持一定的壓差，并按生產(chǎn)工藝要求決定維持正壓差或負(fù)壓差。不同等級(jí)的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差應(yīng)不小于5Pa,潔凈區(qū)與室外的壓差應(yīng)不小于10Pa。
  在相同級(jí)別的潔凈區(qū)內(nèi)不同功能區(qū)域內(nèi)進(jìn)行的操作有產(chǎn)生交叉污染潛在風(fēng)險(xiǎn)或儲(chǔ)存的物料或器具有受到其他功能區(qū)域的污染的潛在風(fēng)險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)保持一定的壓差，以防止污染和交叉污染的發(fā)生。設(shè)置相同潔凈度級(jí)別的不同功能區(qū)域的壓差時(shí)，企業(yè)應(yīng)對(duì)整個(gè)區(qū)域內(nèi)的壓差數(shù)值進(jìn)行全面計(jì)算評(píng)估，一般可以小于不同潔凈級(jí)別的壓差。同時(shí)還應(yīng)對(duì)關(guān)鍵區(qū)域的氣流組織形式進(jìn)行研究，以防壓差梯度不合理或過大而產(chǎn)生污染或交叉污染。
  因此可見，潔凈室與周圍的可見必須有一定的壓差，具體壓差多少合適應(yīng)工具行業(yè)特點(diǎn)與環(huán)境進(jìn)行設(shè)計(jì)，一般在5Pa-15Pa之間。