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附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值舉例

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附錄C 精密儀器、設(shè)備的容許振動(dòng)值舉例

附錄D 潔凈室(區(qū))性能測(cè)試和認(rèn)證

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1 潔凈室(區(qū))內(nèi)有微振控制要求的場(chǎng)所的檢測(cè)，應(yīng)采用符合精密設(shè)備、儀器容許振動(dòng)值要求的微振測(cè)試分析系統(tǒng)進(jìn)行分階段測(cè)試。2 微振檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))內(nèi)需進(jìn)行微振控制的精密設(shè)備、儀器的布置和微振控制設(shè)計(jì)的要求設(shè)置，一般檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在微振控制相關(guān)的地面、樓面、基礎(chǔ)面等。3 微振控制的檢測(cè)應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單位進(jìn)行?，F(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)

本規(guī)范用詞說(shuō)明

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正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”。2)表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的用詞．正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”。3)表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的用詞：

前言

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為便于廣大設(shè)計(jì)、施工、科研、學(xué)校等單位有關(guān)人員在使用本規(guī)范時(shí)能正確理解和執(zhí)行條文規(guī)定，《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》編制組按章、節(jié)、條順序編制了本規(guī)范的條文說(shuō)明，對(duì)條文規(guī)定的目的、依據(jù)以及執(zhí)行中需注意的有關(guān)事項(xiàng)進(jìn)行了說(shuō)明。但是，本條文說(shuō)明不具備與規(guī)范正文同等的法律效力，僅供使用者作為理解和把握規(guī)范規(guī)定的參考。

1 總則

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本規(guī)范是全國(guó)通用的潔凈廠房設(shè)計(jì)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，適用于各種類型工業(yè)企業(yè)新建、擴(kuò)建和改建潔凈廠房的設(shè)計(jì)。由于各類工業(yè)企業(yè)的潔凈廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)的產(chǎn)品及其生產(chǎn)工藝各不相同，它們對(duì)生產(chǎn)環(huán)境控制會(huì)有一些特殊要求，本規(guī)范不可能將這些要求逐一地進(jìn)行規(guī)定，因此各行業(yè)可依據(jù)本規(guī)范按各自的特點(diǎn)制訂必要的本行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)定，以利于準(zhǔn)確、完整地執(zhí)行潔

2 術(shù)語(yǔ)

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每立方米空氣中包括超微粒子的實(shí)測(cè)或規(guī)定濃度。U描述符不能規(guī)定懸浮粒子潔凈度等級(jí)，但它可與懸浮粒子潔凈度等級(jí)同時(shí)引述，也可以單獨(dú)引述。

3 空氣潔凈度等級(jí)

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隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，目前在一些高科技產(chǎn)品用潔凈廠房中，不僅要求控制潔凈室（區(qū)）內(nèi)的微粒，還要求控制各類微生物、化學(xué)污染物，為此增加了本條規(guī)定。

4 總體設(shè)計(jì)

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被動(dòng)隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器、高精度控制閥、儀表箱及氣源組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺(tái)座傾斜時(shí)會(huì)排出氣體（如壓縮空氣、氮?dú)獾龋?，因此?duì)氣源應(yīng)進(jìn)行凈化處理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級(jí)，才能保證排出的氣體不致對(duì)潔凈室造成污染。

5 建筑

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潔凈室的頂棚、壁板及夾芯材料應(yīng)為不燃燒體，且不得采用有機(jī)復(fù)合材料。頂棚和壁板的耐火極限不應(yīng)低于0.4h，疏散走道頂棚的耐火極限不應(yīng)低于1.0h。

6 空氣凈化

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新風(fēng)管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)新風(fēng)比；電動(dòng)密閉閥用于空調(diào)機(jī)停止運(yùn)行時(shí)關(guān)閉新風(fēng)?；仫L(fēng)總管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)回風(fēng)比。送風(fēng)支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室的送風(fēng)量?；仫L(fēng)支管上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)潔凈室內(nèi)的正壓值?？照{(diào)機(jī)出風(fēng)口處的密閉調(diào)節(jié)閥用于并聯(lián)空調(diào)機(jī)停運(yùn)時(shí)的關(guān)閉切斷，也可用于單臺(tái)空調(diào)機(jī)的總送風(fēng)量調(diào)節(jié)。排風(fēng)系統(tǒng)吸風(fēng)管段上的調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)局