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14 噪聲控制

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14噪聲控制14．1一般規(guī)定14．1．1電子工業(yè)潔凈廠房內(nèi)噪聲控制的基本要求：一是應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)的要求，不能因為潔凈室內(nèi)的公用動力設(shè)施等引起

15 微振控制

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15 微振控制15．1 一般規(guī)定影響潔凈廠房內(nèi)精密設(shè)備、儀器的微振控制設(shè)施不能達到微振動容許值的因素主要有：環(huán)境的干擾振動，潔凈廠房內(nèi)

前言

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本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負責管理和對強制性條文的解釋，由中國電子工程設(shè)計院負責具體內(nèi)容的解釋。本規(guī)范在執(zhí)行過程中，希望各有關(guān)單位結(jié)合工程實踐，認真總結(jié)經(jīng)驗，若發(fā)現(xiàn)需要修改和補充之處，請將意見和有關(guān)資料寄至中國電子工程設(shè)計院《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》管理組(地址：北京市海淀區(qū)萬壽路27號，郵政編碼：100840，傳真：

1 總 則

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電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)滿足需潔凈環(huán)境的電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，并應(yīng)根據(jù)具體情況為今后產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)工藝改進的需要預(yù)留條件。1．0．4 電子工業(yè)潔凈廠房的設(shè)計應(yīng)為施工安裝、調(diào)試檢測和安全運行、維護管理創(chuàng)造必要的條件。

2 術(shù) 語

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防靜電環(huán)境 ESD controlled environment 具有防止靜電危害的特定環(huán)境，在此環(huán)境中不易產(chǎn)生靜電或靜電產(chǎn)生后易于泄放或消除，靜電噪聲難以傳播。2．0．35 表面電阻 surface resistance 在材料的表面上兩電極間所加直流電壓與流過兩極間的穩(wěn)態(tài)電流之商。

3 電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設(shè)計要求

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電子工業(yè)潔凈廠房生產(chǎn)環(huán)境的設(shè)計應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝的要求控制微粒和對產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)，同時還應(yīng)提出溫度、濕度、壓差、噪聲、振動、靜電防護、照度等參數(shù)要求。

4 總體設(shè)計

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潔凈室(區(qū))的空間布置應(yīng)滿足下列要求：1 生產(chǎn)設(shè)備、物料運輸系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求布置，并應(yīng)做到有效、靈活和操作方便；2 各類管線的空間布置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、安全間距和維修要求；3 終端高效空氣過濾器、照明燈具和各種公用動力設(shè)施的布置，應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、潔凈度等級、安全生產(chǎn)和維修要求；4 潔凈生產(chǎn)層的高度應(yīng)按生產(chǎn)設(shè)備、

5 工藝設(shè)計

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人員凈化用室，應(yīng)根據(jù)換鞋(凈鞋)、更外衣、更潔凈工作服等的需要設(shè)置。雨具存放、廁所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用房和空氣吹淋室、氣閘室、潔凈工作服洗滌間及干燥間等其他用室，可根據(jù)需要設(shè)置。5．3．3 潔凈廠房內(nèi)人員凈化用室和生活用室的建筑面積，應(yīng)根據(jù)潔凈室的規(guī)模、空氣潔凈度等級和潔凈室內(nèi)工作人員數(shù)量等確定，宜按潔凈室

6 潔凈建筑設(shè)計

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潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化時變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50，材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標準《建筑

7 空氣凈化和空調(diào)通風設(shè)計

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凈化空調(diào)系統(tǒng)宜分開設(shè)置：1 運行班次或使用時間不同；2 生產(chǎn)過程中散發(fā)的物質(zhì)對其他工序、設(shè)備交叉污染，對產(chǎn)品質(zhì)量或操作人員健康、安全有影響；3 對溫、濕度控制要求差別大；4 潔凈室(區(qū))內(nèi)工藝設(shè)備發(fā)熱相差懸殊；5 凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng)；